Напівпровідникова нержавіюча сталь: 316L Vim-Var проти 904L

 

Чому вакуум розплав 316 л для вафельних інструментів?
Vim-var (вакуумна індукція розплавленої вакуумної дуги, що переробляється) зменшує включення до<5 particles/cm² >0. 3 мкм. Вміст газу (o₂<30ppm, N₂ <150ppm) prevents micro-outgassing in vacuum chambers. Surface roughness Ra ≤0.05μm achievable.

 

Коли 904L вказано для вологих лавок?
904L resists HF/HNO₃ acid mixtures during wafer etching. Copper addition (1-2%) improves sulfuric acid resistance. PREN >35 запобігає корозії у надвиразній воді (18 МОм · см опір).

 

Як поверхневі обробки запобігають забрудненню?
Електроплізація видаляє 10-15 мкм загартованого робочим шаром. Лазерний шоковий пілінг викликає стислий стрес для зменшення міграції Fe. Відпал водню зменшує поверхневу енергію для обмеження адгезії частинок.

 

Критичні допуски для систем доставки газу?
Внутрішня поверхня РА менше або дорівнює 0. 13 мкм. Швидкість витоку<1×10⁻⁹ mbar·L/s helium. Outgassing rate <5×10⁻¹¹ torr·L/s·cm². Particulate count: ≤5 particles >0. 1 мкм на лінійну стопу.

 

Тестування на перевірку компонентів чистої кімнати?
Аналіз SEM-EDS для картографування включення. ICP-MS для вилуговування іонів металу (Na⁺<50ppb, Fe⁺⁺ <10ppb). Vapor phase decomposition for surface metallic contamination.